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作元素定性分析时，打造地区俄歇电子谱线往往比光电子谱有更高的灵敏度。一是定点分析，高地对样品表面选定微区进行扫描分析。但是能谱仪分辨率较差，华中会即峰背比低，谱峰重叠严重[27]。
（3）对物质进行表面表征（小于10nm），研讨可以进行元素价态分析和化学结构分析[35]，结合氩离子枪也可进行深度分析。EDX可探测元素范围大（4Be~92U），聚焦将召对重元素的分析特别有效。
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